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石英撓性加速度計和MEMS加速度計的工作原理及比較

加速度計是一種測量物體加速度的傳感器,廣泛應用于航空、汽車、手機、智能手表等領域。在加速度計技術的發展過程中,石英撓性加速度計(Quartz-flexure Accelerometer)和MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)加速度計成為了兩個主要的技術路線。


石英加表.png


石英撓性加速度計采用了石英材料的撓性形變原理,利用外力作用于撓性臂上的質量,使其產生撓動,并測量撓動信號的變化量來確定加速度。石英撓性加速度計具有高精度、高靈敏度、高穩定性等優點,但是制造成本高,體積較大。


MEMS加速度計則采用微電子機械系統技術,利用微型的機械結構和電子元件實現加速度的測量。MEMS加速度計具有體積小、重量輕、功耗低、成本低等優點,但精度和穩定性相對較低。


石英撓性加速度計和MEMS加速度計在應用領域上也有一定的差異。由于石英撓性加速度計具有高精度和高穩定性,因此在軍事、航天等高端領域應用廣泛。而MEMS加速度計則由于其小體積、低功耗和低成本的特點,被廣泛應用于消費電子、汽車安全系統、運動手環等領域。


總的來說,石英撓性加速度計和MEMS加速度計在測量原理、制造工藝、性能指標、應用領域等方面存在較大的差異。選擇哪一種加速度計需要根據實際需求和應用場景來綜合考慮,以取得更好的效果。


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