1 用途
SiA200是一種的電容體的MEMS加速度計，專為慣性應用設計。長期穩定性好，標度因數重復性，低運行偏差，振動整流誤差以及低噪音等方面具備明顯優勢。內部集成了信號調理、模擬±2.7V輸出、內置自檢電路和一個溫度傳感器方便用戶進行補償。能夠為高精度測量需求提供有效可靠的支撐。
2 產品特點(±30g)
l 運行偏差穩定性：45μg
l 極好的長期零偏重復性：3.6mg
l 非線性度：±0.3%FS
l 嚴苛環境下具備極高可靠性
l LCC20，氣密封裝
3 產品應用
【航空航天】慣性測量單元IMU、航空電子、姿態控制、武器發射系統、平臺穩定系統、GPS輔助制導、無人機導航系統、短程制導、機器人技術等
【海基陸基】尋北、聲納定位、ROV制導、武器發射系統、船舶航海和控制、單兵手持機地圖、載具定位等
【地質勘探】LWD、MWD、鉆井導向、盾構機等
4 性能參數
參數 | 型號 | 單位 | SiA202 | SiA210 | SiA230 | SiA2100 |
量程 | g | ±2 | ±10 | ±30 | ±100 |
偏值 | mg | 0.14 | 0.7 | 2.1 | 7 |
偏值重復性 | mg | 0.05 | 0.2 | 0.45 | 0.5 |
偏值穩定性 | μg | 3 | 15 | 45 | 150 |
標度因數 | mV/g | 1350 | 270 | 90 | 27 |
標度因數重復性 | ppm | 400 |
標度因數穩定性 | ppm | 120 |
失準角 | mrad | 10 |
閾值（1Hz） | μg rms | 7 | 34 | 102 | 340 |
非線性（IEEE ） | % FS | 0.3 |
工作溫度 | ℃ | -40～125 |
功耗 | mW | 10 |
尺寸 | mm2 | 9×9 |
5 絕對最大額定值
參數 | 條件 | 單位 | 最小值 | 最大值 |
供電電壓 |
| V | -0.3 | +3.9 |
任何PIN電壓 |
| V | -0.3 | VDD+0.3 |
操作溫度 |
| ℃ | -40 | 125 |
儲存溫度 |
| ℃ | -55 | 125 |
振動 | 隨機 | g |
| 20 |
沖擊 | 單次沖擊/0.2ms/6方向 | g |
| 1500 |
ESD 應力 | HBM模式 | kV | -1 | 1 |
